。HORIBA出類拔萃的質(zhì)量和值得信賴的性能，贏得了客戶的廣泛的信賴。

我們?cè)?ldquo;新奇 有趣”這個(gè)別具一格的企業(yè)哲學(xué)的指引下

，通過(guò)提供科學(xué)進(jìn)步所需的**產(chǎn)品，履行我們的社會(huì)責(zé)任——尤其是在保護(hù)健康、**和環(huán)境方面。遍布**每個(gè)角落的“HORIBA人”，期待著與您合作，為您提供滿足需求的*佳分析解決方案。

HORIBA提供多種自動(dòng)注入裝置

，**、可靠的傳輸液體到任何端點(diǎn)。針對(duì)半導(dǎo)體工藝挑剔的要求，HORIB提供的產(chǎn)品中需要接觸液體的零部件全部采用不銹鋼材料，以達(dá)到高性能的表現(xiàn)效果。HORIBA的直接注入式汽化器可傳輸TEOS、TEB、TEPO。針對(duì)光刻、擴(kuò)散工藝中用到的強(qiáng)腐蝕性材料，F(xiàn)DM系統(tǒng)選用抗腐蝕非金屬材料，保證工藝系統(tǒng)的壽命及**。FDM可傳輸液體PCL3或BBr3至HORIBA先進(jìn)的溫度補(bǔ)償鼓泡裝置裝置VM系列。

HORIBA榮獲液體傳輸系列大獎(jiǎng)（FDM系列）

，此獎(jiǎng)項(xiàng)表彰于HORIBA在擴(kuò)散工藝中成功開(kāi)發(fā)了POCL3自動(dòng)傳輸系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)POCL3傳輸特制塑料鼓泡裝置內(nèi)。

FDM和VM系統(tǒng)適用于硅基電池片的擴(kuò)散制程