、雙級和多級。在電液伺服閥中，將電信號轉(zhuǎn)變?yōu)樾D(zhuǎn)或直線運動的部件稱為力矩馬達或力馬達。力矩馬達浸泡在油液中的稱為濕式，不浸泡在油液中的稱為干式。其中以滑閥位置反饋、兩級干式電液伺服閥應(yīng)用zui廣。圖為電液伺服閥的工作原理。力矩馬達在線圈中通入電流后產(chǎn)生扭矩，使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動，移動的距離和方向隨電流的大小和方向而變化。例如擋板向右移近噴嘴時，就在主閥芯兩端面上產(chǎn)生壓力差推動主閥芯左移，使壓力油口P S與載荷1口相通,回油口與載荷 2口相通。主閥芯左移的同時通過反饋桿對力矩馬達產(chǎn)生的力矩和擋板的位移進行負(fù)反饋。因此，主閥芯的位移量就能地隨著電流的大小和方向而變化，從而控制通向液壓執(zhí)行元件的流量和壓力。氣液伺服閥是將氣動量轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽康臍庖恨D(zhuǎn)換元件.