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美國(guó)KLA-Tencor光學(xué)表面分析儀
KLA-Tencor公司為****的**美資半導(dǎo)體(芯片)設(shè)備供貨商
KLA-Tencor主要產(chǎn)品:
CS20光學(xué)表面分析儀
WaferSight PWG 已圖案晶圓幾何形狀測(cè)量系統(tǒng)
LMS IPRO6 光罩圖案位置測(cè)量系統(tǒng)
K-T Analyzer 9.0 先進(jìn)數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)
2920 系列寬波等離子圖案晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
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