美國MKS Instruments公司成立于1961年，是在環(huán)境監(jiān)測
，國防與**
，生命科學(xué)與研究
，工藝與工業(yè)制造和薄膜行業(yè)技術(shù)解決方案的*****
。MKS Instruments產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)
，延伸到材料遞送
、氣體成分分析
、靜電荷控制、工藝控制
、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)
，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中
。
MKS Instruments主要產(chǎn)品：MKS真空計(jì)、 MKS壓力傳感器、MKS壓力變送器
、MKS壓力計(jì)、 MKS薄膜真空計(jì)
、MKS壓力開關(guān)
、MKS真空開關(guān)、MKS流量計(jì)
、MKS質(zhì)量流量計(jì)
、MKS質(zhì)量流量控制器、MKS光學(xué)氣體分析儀
、MKS真空發(fā)生器
、MKS信號轉(zhuǎn)換器、MKS限位開關(guān)
、MKS加熱器
、MKS排氣閥、MKS壓力控制器
MKS Instruments主要型號：600系列 ，690A系列
，615A系列，698A系列
，590A系列
，615A系列，616A系列
，622B系列
，623B系列
，722B系列，627D系列
，Type 186B
，Type 1651C，Type 152H
，Type 244E
，Type 1253E，Type 252D
，Type 152F
，Type 622A
MKS壓力計(jì) 626A13TDE MKS傳感器 627B11TBC1B
MKS壓力傳感器 622B11TDE MKS真空計(jì) 628D1TDF1B
MKS真空計(jì) 627D13TDC1B MKS傳感器 226A02MCBCBFB4A1
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